The influence of electrode material on argon plasmas (2001)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: SBMicro 2001: proceedings
- Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging
-
ABNT
RUAS, Ronaldo et al. The influence of electrode material on argon plasmas. 2001, Anais.. Brasília: SBMicro, 2001. . Acesso em: 15 fev. 2026. -
APA
Ruas, R., Mansano, R. D., Verdonck, P. B., & Braithwaite, S. J. (2001). The influence of electrode material on argon plasmas. In SBMicro 2001: proceedings. Brasília: SBMicro. -
NLM
Ruas R, Mansano RD, Verdonck PB, Braithwaite SJ. The influence of electrode material on argon plasmas. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2026 fev. 15 ] -
Vancouver
Ruas R, Mansano RD, Verdonck PB, Braithwaite SJ. The influence of electrode material on argon plasmas. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2026 fev. 15 ] - Estudo sobre danos induzidos por plasma
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