The effect of electrode materials on etching mechanisms (2001)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Proceedings
- Conference titles: International Symposium on Plasma Chemistry
-
ABNT
RUAS, Ronaldo et al. The effect of electrode materials on etching mechanisms. 2001, Anais.. Orleans: ISPC, 2001. . Acesso em: 30 set. 2024. -
APA
Ruas, R., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., & Braithwaite, N. (2001). The effect of electrode materials on etching mechanisms. In Proceedings. Orleans: ISPC. -
NLM
Ruas R, Verdonck PB, Mansano RD, Braithwaite N. The effect of electrode materials on etching mechanisms. Proceedings. 2001 ;[citado 2024 set. 30 ] -
Vancouver
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