Corrosão por plasma de espaçadores em óxido de silício (1997)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Resumos
- Conference titles: Simpósio de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
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ABNT
DIETRICH, Alvaro Batista e VERDONCK, Patrick Bernard. Corrosão por plasma de espaçadores em óxido de silício. 1997, Anais.. São Paulo: USP, 1997. . Acesso em: 26 jan. 2026. -
APA
Dietrich, A. B., & Verdonck, P. B. (1997). Corrosão por plasma de espaçadores em óxido de silício. In Resumos. São Paulo: USP. -
NLM
Dietrich AB, Verdonck PB. Corrosão por plasma de espaçadores em óxido de silício. Resumos. 1997 ;[citado 2026 jan. 26 ] -
Vancouver
Dietrich AB, Verdonck PB. Corrosão por plasma de espaçadores em óxido de silício. Resumos. 1997 ;[citado 2026 jan. 26 ] - The influence of diffusion of fluorine compounds for silicon lateral etching
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