Estudo sobre danos induzidos por plasma (1998)
- Autor:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Subjects: DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS; PLASMA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho foi feito um estudo sobre vários tipos de danos induzidos por plasma. Na parte experimental, estudamos o fenômeno de rugosidade induzida por corrosão por plasma em superfícies de silício. Primeiramente, determinamos qual procedimento a ser usado para medir e determinar a rugosidade. Para isso introduzimos o parâmetro "rugosidade normalizada" que é a rugosidade média medida na superfície sobre a profundidade da estrutura corroída. Verificamos que os seguintes parâmetros são os mais importantes na geração da rugosidade no silício: presença de oxigênio no plasma, presença do óxido nativo na superfície do silício antes da corrosão, material da máscara, tensão DC no eletrodo e modo do plasma (RIE ou ICP). Estudamos também a contaminação metálica induzida pelo plasma. Determinamos que o material do eletrodo é o fator principal da contaminação. Verificamos que uma limpeza RCA padrão não remove estas impurezas. Uma imersão em HF diluído remove todos os metais menos o cobre e o níquel. Cobre é redepositada pelo efeito "plating". Mostramos que é muito provável que o nível esteja presente na forma de um siliceto de níquel estável que não é removido por etapas de limpeza padrão.
- Imprenta:
- Data da defesa: 05.06.1998
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ABNT
VERDONCK, Patrick Bernard. Estudo sobre danos induzidos por plasma. 1998. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1998. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-07102025-145235/pt-br.php. Acesso em: 14 fev. 2026. -
APA
Verdonck, P. B. (1998). Estudo sobre danos induzidos por plasma (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-07102025-145235/pt-br.php -
NLM
Verdonck PB. Estudo sobre danos induzidos por plasma [Internet]. 1998 ;[citado 2026 fev. 14 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-07102025-145235/pt-br.php -
Vancouver
Verdonck PB. Estudo sobre danos induzidos por plasma [Internet]. 1998 ;[citado 2026 fev. 14 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-07102025-145235/pt-br.php - The influence of electrode material on argon plasmas
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