Plasma etching (1996)
- Autor:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Notas de Aula
- Conference titles: Oficina de Microeletronica
-
ABNT
VERDONCK, Patrick Bernard. Plasma etching. 1996, Anais.. Campinas: Unicamp, 1996. . Acesso em: 14 fev. 2026. -
APA
Verdonck, P. B. (1996). Plasma etching. In Notas de Aula. Campinas: Unicamp. -
NLM
Verdonck PB. Plasma etching. Notas de Aula. 1996 ;[citado 2026 fev. 14 ] -
Vancouver
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