Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao (1995)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Simpósio de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio; VERDONCK, Patrick Bernard. Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao. Anais.. São Paulo: Usp, 1995. -
APA
Cirino, G. A., & Verdonck, P. B. (1995). Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao. In Resumos. São Paulo: Usp. -
NLM
Cirino GA, Verdonck PB. Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao. Resumos. 1995 ; -
Vancouver
Cirino GA, Verdonck PB. Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao. Resumos. 1995 ; - Development and characterization of 'SI IND.3''N IND.4' plasma etching processes
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