Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma (1992)
- Authors:
- USP affiliated author: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- School: EP
- Subject: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference title: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
-
ABNT
FRANZIN, R M; VERDONCK, Patrick Bernard; MANSANO, Ronaldo Domingues; ORDONEZ, M; PISANI, M B. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. -
APA
Franzin, R. M., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., Ordonez, M., & Pisani, M. B. (1992). Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Franzin RM, Verdonck PB, Mansano RD, Ordonez M, Pisani MB. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. Resumos. 1992 ; -
Vancouver
Franzin RM, Verdonck PB, Mansano RD, Ordonez M, Pisani MB. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. Resumos. 1992 ; - Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas
- Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2
- Development and characterization of 'SI IND.3''N IND.4' plasma etching processes
- Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao
- Aluminium etching with cc14-n2 plasmas
- The influence of electrode material on argon plasmas
- RF electrical measurements in plasma processing reactors
- Aluminium etching with CC14-N2 plasma
- Tecnicas de medidas de espessura de filmes finos
- Characterization of SF6 plasmas by RF electrical measurements
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
