Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma (1992)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
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ABNT
FRANZIN, R M et al. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Franzin, R. M., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., Ordonez, M., & Pisani, M. B. (1992). Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Franzin RM, Verdonck PB, Mansano RD, Ordonez M, Pisani MB. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Franzin RM, Verdonck PB, Mansano RD, Ordonez M, Pisani MB. Projeto e construcao de um equipamento para corrosao de aluminio por plasma. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2
- Development and characterization of 'SI IND.3''N IND.4' plasma etching processes
- Estudo da impedancia do plasma num processo de corrosao
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