High quality low temperature DPECVD silicon dioxide (1997)
- Authors:
- Autor USP: ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1016/s0022-3093(96)00650-3
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Journal of Non-Crystalline Solids
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 212, n. 2/3, p. 225-231, jun. 1997
- Status:
- Nenhuma versão em acesso aberto identificada
-
ABNT
PEREYRA, Inés e ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide. Journal of Non-Crystalline Solids, v. 212, n. ju 1997, p. 225-231, 1997Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3. Acesso em: 11 abr. 2026. -
APA
Pereyra, I., & Alayo Chávez, M. I. (1997). High quality low temperature DPECVD silicon dioxide. Journal of Non-Crystalline Solids, 212( ju 1997), 225-231. doi:10.1016/s0022-3093(96)00650-3 -
NLM
Pereyra I, Alayo Chávez MI. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 1997 ; 212( ju 1997): 225-231.[citado 2026 abr. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3 -
Vancouver
Pereyra I, Alayo Chávez MI. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 1997 ; 212( ju 1997): 225-231.[citado 2026 abr. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3 - Improved density of states and effective charge density in SI/PECVD Si/OxNy interface
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