Modelamento da corrosao de resiste por plasma usando o metodo de superficie de resposta (1995)
- Authors:
- USP affiliated authors: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP ; MANSANO, RONALDO DOMINGUES - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho é utilizado o método de usperficie de resposta (RSM - Response Surfaces Method) , para o projeto dos experimentos de corrosão de resiste por plasma de oxigênio e para a determinação da equação que realciona as taxas de corrosão com os parâmetros controláveis de processo: pressão, potência de rádio frequência (RF) e vazão do gás
- Imprenta:
- Source:
- Título: Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais
- Volume/Número/Paginação/Ano: n. 011, 1995
-
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues e MACIEL, H. S. Modelamento da corrosao de resiste por plasma usando o metodo de superficie de resposta. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais, n. 011, 1995Tradução . . Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ad8db00-6b6a-460d-8b0a-6b616e3ef674/BT-PM7-9511_260130_114232.pdf. Acesso em: 19 fev. 2026. -
APA
Mansano, R. D., & Maciel, H. S. (1995). Modelamento da corrosao de resiste por plasma usando o metodo de superficie de resposta. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais, ( 011). Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ad8db00-6b6a-460d-8b0a-6b616e3ef674/BT-PM7-9511_260130_114232.pdf -
NLM
Mansano RD, Maciel HS. Modelamento da corrosao de resiste por plasma usando o metodo de superficie de resposta [Internet]. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais. 1995 ;( 011):[citado 2026 fev. 19 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ad8db00-6b6a-460d-8b0a-6b616e3ef674/BT-PM7-9511_260130_114232.pdf -
Vancouver
Mansano RD, Maciel HS. Modelamento da corrosao de resiste por plasma usando o metodo de superficie de resposta [Internet]. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais. 1995 ;( 011):[citado 2026 fev. 19 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ad8db00-6b6a-460d-8b0a-6b616e3ef674/BT-PM7-9511_260130_114232.pdf - Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
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BT-PM7-9511_260130_114232... | Direct link |
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