Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide (1987)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; FURLAN, ROGERIO - EP ; LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP
- Unidade: EP
- Subjects: MICROELETRÔNICA; TITÂNIO
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Epusp
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1987
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira Microeletronica
-
ABNT
SWART, Jacobus Willibrordus et al. Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide. 1987, Anais.. São Paulo: Sbmicro/Epusp, 1987. . Acesso em: 09 out. 2024. -
APA
Swart, J. W., Laganá, A. A. M., Morimoto, N. I., & Furlan, R. (1987). Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide. In Anais. São Paulo: Sbmicro/Epusp. -
NLM
Swart JW, Laganá AAM, Morimoto NI, Furlan R. Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide. Anais. 1987 ;[citado 2024 out. 09 ] -
Vancouver
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