Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp (1993)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; ARMANDO ANTONIO MARIA LAGANA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria et al. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Laganá, A. A. M., Valente, M. C., Pedrine, A. G., Souza Filho, J. C., & Swart, J. W. (1993). Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Laganá AAM, Valente MC, Pedrine AG, Souza Filho JC, Swart JW. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. Anais. 1993 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Laganá AAM, Valente MC, Pedrine AG, Souza Filho JC, Swart JW. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. Anais. 1993 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio
- Programa de análise de espectro de rbs
- Estudo da cinética de formação do siliceto de titânio
- Formation of nickel monosilicide onto (100) silicon wafer surfaces
- Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide
- Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio
- Contribuições a uma tecnologia n-mos com carga em depleção e porta metalica, e projeto de uma fonte de autopolarização
- Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto
- Interconexoes e contatos em circuitos integrados
- Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas