Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio (1993)
- Authors:
- USP affiliated authors: LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP ; SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria e SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e SWART, Jacobus Willibrordus. Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 29 dez. 2025. -
APA
Laganá, A. A. M., Silva, A. N. R. da, & Swart, J. W. (1993). Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Laganá AAM, Silva ANR da, Swart JW. Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio. Anais. 1993 ;[citado 2025 dez. 29 ] -
Vancouver
Laganá AAM, Silva ANR da, Swart JW. Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio. Anais. 1993 ;[citado 2025 dez. 29 ] - Programa de análise de espectro de rbs
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