Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp (1993)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; ARMANDO ANTONIO MARIA LAGANA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria et al. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 16 abr. 2024. -
APA
Laganá, A. A. M., Valente, M. C., Pedrine, A. G., Souza Filho, J. C., & Swart, J. W. (1993). Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Laganá AAM, Valente MC, Pedrine AG, Souza Filho JC, Swart JW. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. Anais. 1993 ;[citado 2024 abr. 16 ] -
Vancouver
Laganá AAM, Valente MC, Pedrine AG, Souza Filho JC, Swart JW. Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp. Anais. 1993 ;[citado 2024 abr. 16 ] - Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio
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