TI - Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp PY - 1993 AU - Laganá, Armando Antonio Maria AU - Valente, M C AU - Pedrine, A G AU - Souza Filho, J C AU - Swart, Jacobus Willibrordus T2 - Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica J2 - Anais PP - Campinas PB - Sbmicro ER -