Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum (1989)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; FURLAN, ROGERIO - EP
- Unidade: EP
- Subjects: TRATAMENTO TÉRMICO; TECNOLOGIA DO VÁCUO
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 1989
- Source:
- Título: Journal of the Electrochemical Society
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.136, n.6 , p.1806-11, jun. 1989
-
ABNT
FURLAN, Rogério e SWART, Jacobus Willibrordus. Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum. Journal of the Electrochemical Society, v. 136, n. ju 1989, p. 1806-11, 1989Tradução . . Acesso em: 14 fev. 2026. -
APA
Furlan, R., & Swart, J. W. (1989). Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum. Journal of the Electrochemical Society, 136( ju 1989), 1806-11. -
NLM
Furlan R, Swart JW. Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum. Journal of the Electrochemical Society. 1989 ;136( ju 1989): 1806-11.[citado 2026 fev. 14 ] -
Vancouver
Furlan R, Swart JW. Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum. Journal of the Electrochemical Society. 1989 ;136( ju 1989): 1806-11.[citado 2026 fev. 14 ] - Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rtp in vacuum
- Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'
- Formação de siliceto de titanio por rtp em vácuo e verificação da influência do arsênio
- Verificação da redistribuição de arsenio no processo de formação de siliceto de titanio por rtp em vacuo
- Obtenção de contato ôhmico sobre junções rasas em Si, utilizando siliceto de Ti e TiW entre substrato e Al
- Study of the thermal stability of the Al/TiW/TiSi2/Si structure
- Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide
- Design and processing of hbts
- Difusao de estanho em 'GA''AS' por processamento termico rapido
- Fabricacao de hbt de 'AL''GA''AS' / 'GA''AS'
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
