Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2' (1990)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; FURLAN, ROGERIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Spie
- Publisher place: Campinas
- Date published: 1990
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
FURLAN, Rogério e VAN DER SPIEGEL, J e SWART, Jacobus Willibrordus. Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'. 1990, Anais.. Campinas: Sbmicro/Spie, 1990. . Acesso em: 14 maio 2025. -
APA
Furlan, R., Van der Spiegel, J., & Swart, J. W. (1990). Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'. In Anais. Campinas: Sbmicro/Spie. -
NLM
Furlan R, Van der Spiegel J, Swart JW. Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'. Anais. 1990 ;[citado 2025 maio 14 ] -
Vancouver
Furlan R, Van der Spiegel J, Swart JW. Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'. Anais. 1990 ;[citado 2025 maio 14 ] - Verificação da redistribuição de arsenio no processo de formação de siliceto de titanio por rtp em vacuo
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