Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System" (2002)
Unidade: EPAssuntos: FILMES FINOS, PLASMA (MICROELETRÔNICA)
ABNT
MARTINS, Deilton Reis. Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System". 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 12 set. 2024.APA
Martins, D. R. (2002). Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System" (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Martins DR. Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System". 2002 ;[citado 2024 set. 12 ]Vancouver
Martins DR. Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System". 2002 ;[citado 2024 set. 12 ]