EXAFS analysis on SiOxNy films (2006)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; PEREYRA, INÊS - EP
- Unidades: IF; EP
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais
- Publisher place: Florianópolis
- Date published: 2006
- Source:
- Título: Abstracts
- Conference titles: Brazilian MRS Meeting
-
ABNT
CRIADO, Denise e FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu e PEREYRA, Inés. EXAFS analysis on SiOxNy films. 2006, Anais.. Florianópolis: SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, 2006. . Acesso em: 04 nov. 2024. -
APA
Criado, D., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2006). EXAFS analysis on SiOxNy films. In Abstracts. Florianópolis: SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais. -
NLM
Criado D, Fantini MC de A, Pereyra I. EXAFS analysis on SiOxNy films. Abstracts. 2006 ;[citado 2024 nov. 04 ] -
Vancouver
Criado D, Fantini MC de A, Pereyra I. EXAFS analysis on SiOxNy films. Abstracts. 2006 ;[citado 2024 nov. 04 ] - On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
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