SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Schools: IF; EP
- Subject: ÓPTICA
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos de Trabalhos
- Conference title: Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS
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ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira; FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu; PEREYRA, Inés. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. Anais.. Campinas: LNLS, 2000. -
APA
Prado, R. J., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2000). SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. In Resumos de Trabalhos. Campinas: LNLS. -
NLM
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. Resumos de Trabalhos. 2000 ; -
Vancouver
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. Resumos de Trabalhos. 2000 ; - Structural investigation of Si-rich amorphous silicon oxynitride films
- On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
- EXAFS analysis on SiOxNy films
- Intrinsic and doped microcrystalline silicon films for application in double barrier structures
- Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H
- Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado
- Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films
- Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis
- Nano-crystalline "Si IND.1-x" "C IND.x" :H thin films deposited by PECVD for SiC-on-insulator application
- Annealing effects of highly homogeneous a-'Si IND. 1-x''C IND. x': H
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