Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films (2006)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; CHÁVEZ, MARCO ISAÍAS ALAYO - EP ; PEREYRA, INÊS - EP
- Unidades: IF; EP
- Subjects: FILMES FINOS; ESPECTROSCOPIA DE RAIO X
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Journal of Non-Crystalline Solids
- ISSN: 0022-3093
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 352, n. 9-20, p. 1298-1302, 2006
-
ABNT
CRIADO, Denise et al. Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films. Journal of Non-Crystalline Solids, v. 352, n. 9-20, p. 1298-1302, 2006Tradução . . Disponível em: http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5594&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049650&_version=1&_urlVersion=0&_userid=972067&md5=214bac5d32eab2194b6eace9325ac20e. Acesso em: 29 dez. 2025. -
APA
Criado, D., Alayo Chávez, M. I., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2006). Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films. Journal of Non-Crystalline Solids, 352( 9-20), 1298-1302. Recuperado de http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5594&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049650&_version=1&_urlVersion=0&_userid=972067&md5=214bac5d32eab2194b6eace9325ac20e -
NLM
Criado D, Alayo Chávez MI, Fantini MC de A, Pereyra I. Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 2006 ; 352( 9-20): 1298-1302.[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5594&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049650&_version=1&_urlVersion=0&_userid=972067&md5=214bac5d32eab2194b6eace9325ac20e -
Vancouver
Criado D, Alayo Chávez MI, Fantini MC de A, Pereyra I. Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 2006 ; 352( 9-20): 1298-1302.[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5594&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049650&_version=1&_urlVersion=0&_userid=972067&md5=214bac5d32eab2194b6eace9325ac20e - Local structure and bonds of amorphous silicon oxynitride thin films
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