Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films

Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films (2002)

Authors:
USP affiliated authors: ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP ; FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; CHÁVEZ, MARCO ISAÍAS ALAYO - EP
Unidades: EP; IF
Subjects: MATERIAIS; PROPRIEDADES DOS MATERIAIS
Language: Inglês
Imprenta:
- Publisher: SBPMat
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 2002
Source:
- Título: Programa e Livro de Resumos
Conference titles: Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais

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ABNT

ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías et al. Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films. 2002, Anais.. Rio de Janeiro: SBPMat, 2002. . Acesso em: 30 dez. 2025.
APA

Alayo Chávez, M. I., Pereyra, I., Scopel, W. L., & Fantini, M. C. de A. (2002). Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films. In Programa e Livro de Resumos. Rio de Janeiro: SBPMat.
NLM

Alayo Chávez MI, Pereyra I, Scopel WL, Fantini MC de A. Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films. Programa e Livro de Resumos. 2002 ;[citado 2025 dez. 30 ]
Vancouver

Alayo Chávez MI, Pereyra I, Scopel WL, Fantini MC de A. Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films. Programa e Livro de Resumos. 2002 ;[citado 2025 dez. 30 ]