Local order structure of a-Si'O IND.X' 'N IND.Y':H grown by PECVD (2002)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP ; CHÁVEZ, MARCO ISAÍAS ALAYO - EP
- Unidades: IF; EP
- Subjects: ESPECTROSCOPIA DE RAIO X; ESPECTROMETRIA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Brazilian Journal of Physics
- ISSN: 0103-9733
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 32, n. 2A, p. 366-368, 2002
-
ABNT
SCOPEL, Wanderla Luis et al. Local order structure of a-Si'O IND.X' 'N IND.Y':H grown by PECVD. Brazilian Journal of Physics, v. 32, n. 2A, p. 366-368, 2002Tradução . . Disponível em: http://www.sbf.if.usp.br/bjp/Vol32/Num2a/v32_366.pdf. Acesso em: 29 dez. 2025. -
APA
Scopel, W. L., Fantini, M. C. de A., Alayo Chávez, M. I., & Pereyra, I. (2002). Local order structure of a-Si'O IND.X' 'N IND.Y':H grown by PECVD. Brazilian Journal of Physics, 32( 2A), 366-368. Recuperado de http://www.sbf.if.usp.br/bjp/Vol32/Num2a/v32_366.pdf -
NLM
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Local order structure of a-Si'O IND.X' 'N IND.Y':H grown by PECVD [Internet]. Brazilian Journal of Physics. 2002 ; 32( 2A): 366-368.[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sbf.if.usp.br/bjp/Vol32/Num2a/v32_366.pdf -
Vancouver
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Local order structure of a-Si'O IND.X' 'N IND.Y':H grown by PECVD [Internet]. Brazilian Journal of Physics. 2002 ; 32( 2A): 366-368.[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sbf.if.usp.br/bjp/Vol32/Num2a/v32_366.pdf - Local structure and bonds of amorphous silicon oxynitride thin films
- Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico
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