Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature (2005)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2005
- ISBN: 1-56677-426-8
- Source:
- Título do periódico: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
-
ABNT
PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson e REHDER, Gustavo Pamplona. Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature. 2005, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2005. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Paez Carreño, M. N., & Rehder, G. P. (2005). Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature. In Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Paez Carreño MN, Rehder GP. Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005. 2005 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Paez Carreño MN, Rehder GP. Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005. 2005 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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