Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS (2005)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Subjects: SILÍCIO; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Universidade de São Paulo
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2005
- Source:
- Título do periódico: SIICUSP 2005 : resumos
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
OLIVEIRA JUNIOR, Jose Pinto de e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. 2005, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2005. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm. Acesso em: 29 mar. 2024. -
APA
Oliveira Junior, J. P. de, & Paez Carreño, M. N. (2005). Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. In SIICUSP 2005 : resumos. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
NLM
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 mar. 29 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
Vancouver
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 mar. 29 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
- Polycrystallization of a-SiC:H layers by excimer laser annealing for TFT fabrication
- Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS)
- Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD
- Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films
- Ferramentas de visualização dinâmica para software de visualização e simulação de processos de microfabricação
- Ferramentas gráficas para desenho de estruturas complexas em software de visualização e simulação de processos de microfabricação
- Thermally actuated MEMS all based on PECVD materials obtained at low temperature
- Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing
- Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas