Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films (2002)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2002
- ISBN: 1-56677-328-8
- Source:
-
ABNT
OLIVEIRA, A. R. e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Tradução . Pennington: The Electrochemical Society, 2002. . . Acesso em: 24 jun. 2025. -
APA
Oliveira, A. R., & Paez Carreño, M. N. (2002). Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films. In Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Oliveira AR, Paez Carreño MN. Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films. In: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society; 2002. [citado 2025 jun. 24 ] -
Vancouver
Oliveira AR, Paez Carreño MN. Phosphorus implantation on near stoichiometric a-SIC:H films. In: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society; 2002. [citado 2025 jun. 24 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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