Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD (2004)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Subjects: MICROELETRÔNICA; FILMES FINOS; ELETROQUÍMICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2004
- ISBN: 1-56677-416-0
- Source:
- Título do periódico: Microelectronics Technology and Devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2004
-
ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD. 2004, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2004. . Acesso em: 18 set. 2024. -
APA
Rehder, G. P., & Paez Carreño, M. N. (2004). Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD. In Microelectronics Technology and Devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Rehder GP, Paez Carreño MN. Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD. Microelectronics Technology and Devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03. 2004 ;[citado 2024 set. 18 ] -
Vancouver
Rehder GP, Paez Carreño MN. Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD. Microelectronics Technology and Devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03. 2004 ;[citado 2024 set. 18 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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