Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS (2005)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Subjects: MICROELETRÔNICA; SOFTWARES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Universidade de São Paulo
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2005
- Source:
- Título: SIICUSP 2005 : resumos
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
HOKAMA, Paula Morita e TSUDA, Fernando e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS. 2005, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2005. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm. Acesso em: 12 jan. 2026. -
APA
Hokama, P. M., Tsuda, F., & Paez Carreño, M. N. (2005). Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS. In SIICUSP 2005 : resumos. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
NLM
Hokama PM, Tsuda F, Paez Carreño MN. Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2026 jan. 12 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
Vancouver
Hokama PM, Tsuda F, Paez Carreño MN. Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2026 jan. 12 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm - Ferramentas gráficas para desenho de estruturas complexas em software de visualização e simulação de processos de microfabricação
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