Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície (2005)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Subjects: FILMES FINOS; ELETROSTÁTICA
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Universidade de São Paulo
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2005
- Source:
- Título: SIICUSP 2005 : resumos
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
SILVA, Roberto Feola lopes da e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície. 2005, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2005. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm. Acesso em: 20 out. 2024. -
APA
Silva, R. F. lopes da, & Paez Carreño, M. N. (2005). Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície. In SIICUSP 2005 : resumos. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
NLM
Silva RF lopes da, Paez Carreño MN. Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 20 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm -
Vancouver
Silva RF lopes da, Paez Carreño MN. Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 20 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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