Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique (2003)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2003
- Source:
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
-
ABNT
PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson e LOPES, Alexandre Tavares. Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Tradução . Pennington: Electrochemical Society, 2003. . . Acesso em: 10 jan. 2026. -
APA
Paez Carreño, M. N., & Lopes, A. T. (2003). Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society. -
NLM
Paez Carreño MN, Lopes AT. Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 jan. 10 ] -
Vancouver
Paez Carreño MN, Lopes AT. Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 jan. 10 ] - Ferramentas gráficas para desenho de estruturas complexas em software de visualização e simulação de processos de microfabricação
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