Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma (2002)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: ISOLAMENTO TÉRMICO
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: SIICUSP;CICTE: resumos
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da USP
-
ABNT
NASCIMBENI, Andre Zanetti e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma. 2002, Anais.. São Paulo: USP, 2002. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/10osiicusp/cd_2002/index01.htm. Acesso em: 23 jan. 2026. -
APA
Nascimbeni, A. Z., & Paez Carreño, M. N. (2002). Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma. In SIICUSP;CICTE: resumos. São Paulo: USP. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/10osiicusp/cd_2002/index01.htm -
NLM
Nascimbeni AZ, Paez Carreño MN. Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma [Internet]. SIICUSP;CICTE: resumos. 2002 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/10osiicusp/cd_2002/index01.htm -
Vancouver
Nascimbeni AZ, Paez Carreño MN. Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma [Internet]. SIICUSP;CICTE: resumos. 2002 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/10osiicusp/cd_2002/index01.htm - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
- Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS)
- Software de simulação e visualização 3D da corrosão anisotrópica do sílicio
- Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS
- Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície
- Polymeric corrugated membranes of PMMA fabricated by micro-casting technique for MOEMS and optical applications
- Self-sustained bridges of a-SiC:H obtained by PECVD technique
- Controlled motion in microbridges of silicon carbide obtained by PECVD
- Visualização atomística em processos de corrosão anisotrópica de silício
- Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
