Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing (1998)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: ICMP 98: proceedings
- Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging
-
ABNT
BARTOLI, Julio Roberto et al. Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing. 1998, Anais.. São Paulo: Novodisc, 1998. . Acesso em: 13 jun. 2025. -
APA
Bartoli, J. R., Mansano, R. D., Verdonck, P. B., Paez Carreño, M. N., Costa, R. A. da, Castro, S. C. de, et al. (1998). Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing. In ICMP 98: proceedings. São Paulo: Novodisc. -
NLM
Bartoli JR, Mansano RD, Verdonck PB, Paez Carreño MN, Costa RA da, Castro SC de, Martins OLB, Leone Filho R. Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing. ICMP 98: proceedings. 1998 ;[citado 2025 jun. 13 ] -
Vancouver
Bartoli JR, Mansano RD, Verdonck PB, Paez Carreño MN, Costa RA da, Castro SC de, Martins OLB, Leone Filho R. Study of CF4+H2 plasma surface modification of PMMA for plastic waveguides processing. ICMP 98: proceedings. 1998 ;[citado 2025 jun. 13 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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