Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions (1995)
- Authors:
- USP affiliated authors: SANTOS FILHO, SEBASTIÃO GOMES DOS - EP ; HASENACK, CLAUS MARTIN - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Instituto de Informatica da Ufrgs
- Publisher place: Porto Alegre
- Date published: 1995
- Source:
- Título: Proceedings
- Conference titles: Congress of the Brazilian Microelectronics Society
-
ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos e HASENACK, Claus Martin. Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions. 1995, Anais.. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs, 1995. . Acesso em: 18 mar. 2026. -
APA
Santos Filho, S. G. dos, & Hasenack, C. M. (1995). Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions. In Proceedings. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs. -
NLM
Santos Filho SG dos, Hasenack CM. Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions. Proceedings. 1995 ;[citado 2026 mar. 18 ] -
Vancouver
Santos Filho SG dos, Hasenack CM. Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions. Proceedings. 1995 ;[citado 2026 mar. 18 ] - Estudo da quantificação da rugosidade da interface Si-SiO2. (em CD-Rom)
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