Obtencao de um processo de litografia de multicamadas (1993)
- Autores:
- Autores USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP ; VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Fonte:
- Título do periódico: Resumos
- Nome do evento: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
-
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues et al. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. 1993, Anais.. Recife: Ufpe, 1993. . Acesso em: 26 ago. 2024. -
APA
Mansano, R. D., Yunaka, N. T., Verdonck, P. B., & Maciel, H. S. (1993). Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. In Resumos. Recife: Ufpe. -
NLM
Mansano RD, Yunaka NT, Verdonck PB, Maciel HS. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. Resumos. 1993 ;[citado 2024 ago. 26 ] -
Vancouver
Mansano RD, Yunaka NT, Verdonck PB, Maciel HS. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. Resumos. 1993 ;[citado 2024 ago. 26 ] - Mechanisms of surface roughness induced in silicon by fluorine containing plasmas
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