Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Unidades: IF; EP
- Subjects: ÓPTICA; FILMES FINOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos de Trabalhos
- Conference titles: Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS
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ABNT
SCOPEL, Wanderla Luis e FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu e PEREYRA, Inés. Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado. 2000, Anais.. Campinas: LNLS, 2000. . Acesso em: 18 set. 2024. -
APA
Scopel, W. L., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2000). Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado. In Resumos de Trabalhos. Campinas: LNLS. -
NLM
Scopel WL, Fantini MC de A, Pereyra I. Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 set. 18 ] -
Vancouver
Scopel WL, Fantini MC de A, Pereyra I. Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 set. 18 ] - On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
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