A less critical cleaning procedure for silicon wafers using diluted hf dip and boiling in isopropil alcohol as final steps (1995)
- Authors:
- USP affiliated authors: SANTOS FILHO, SEBASTIÃO GOMES DOS - EP ; HASENACK, CLAUS MARTIN - EP ; SALAY, LUIZ CARLOS - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/1.2048555
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 1995
- Source:
- Título: Journal of the Electrochemical Society
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.142, n.3 , p.902-7, mar. 1995
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos et al. A less critical cleaning procedure for silicon wafers using diluted hf dip and boiling in isopropil alcohol as final steps. Journal of the Electrochemical Society, v. 142, n. 3 , p. 902-7, 1995Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.2048555. Acesso em: 11 jan. 2026. -
APA
Santos Filho, S. G. dos, Hasenack, C. M., Salay, L. C., & Mertens, P. (1995). A less critical cleaning procedure for silicon wafers using diluted hf dip and boiling in isopropil alcohol as final steps. Journal of the Electrochemical Society, 142( 3 ), 902-7. doi:10.1149/1.2048555 -
NLM
Santos Filho SG dos, Hasenack CM, Salay LC, Mertens P. A less critical cleaning procedure for silicon wafers using diluted hf dip and boiling in isopropil alcohol as final steps [Internet]. Journal of the Electrochemical Society. 1995 ;142( 3 ): 902-7.[citado 2026 jan. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2048555 -
Vancouver
Santos Filho SG dos, Hasenack CM, Salay LC, Mertens P. A less critical cleaning procedure for silicon wafers using diluted hf dip and boiling in isopropil alcohol as final steps [Internet]. Journal of the Electrochemical Society. 1995 ;142( 3 ): 902-7.[citado 2026 jan. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2048555 - Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions
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Informações sobre o DOI: 10.1149/1.2048555 (Fonte: oaDOI API)
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