Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz (1992)
- Authors:
- USP affiliated authors: SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP ; HASENACK, CLAUS MARTIN - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Epusp
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1992
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos e HASENACK, Claus Martin. Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz. 1992, Anais.. São Paulo: Sbmicro/Epusp, 1992. . Acesso em: 10 jan. 2026. -
APA
Santos Filho, S. G. dos, & Hasenack, C. M. (1992). Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz. In Anais. São Paulo: Sbmicro/Epusp. -
NLM
Santos Filho SG dos, Hasenack CM. Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz. Anais. 1992 ;[citado 2026 jan. 10 ] -
Vancouver
Santos Filho SG dos, Hasenack CM. Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz. Anais. 1992 ;[citado 2026 jan. 10 ] - Plating mechanisms of cooper onto silicon surfaces diluted hydrofluoric solutions
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