Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd (1994)
- Authors:
- Autor USP: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
BONFIM, M J C e OKURA, J H e SWART, Jacobus Willibrordus. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 28 dez. 2025. -
APA
Bonfim, M. J. C., Okura, J. H., & Swart, J. W. (1994). Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Bonfim MJC, Okura JH, Swart JW. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. Anais. 1994 ;[citado 2025 dez. 28 ] -
Vancouver
Bonfim MJC, Okura JH, Swart JW. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. Anais. 1994 ;[citado 2025 dez. 28 ] - Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto
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