Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto (1990)
- Authors:
- Autor USP: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Spie
- Publisher place: Campinas
- Date published: 1990
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
FREITAS, W J; SWART, Jacobus Willibrordus. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais.. Campinas: Sbmicro/Spie, 1990. -
APA
Freitas, W. J., & Swart, J. W. (1990). Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. In Anais. Campinas: Sbmicro/Spie. -
NLM
Freitas WJ, Swart JW. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais. 1990 ; -
Vancouver
Freitas WJ, Swart JW. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais. 1990 ; - Dopagem de 'SI' com boro por tratamento térmico rápido
- Interconexoes e contatos em circuitos integrados
- Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd
- Dopagem de 'SI' com fósforo por tratamento térmico rápido
- Processo CMOS de cavidade dupla para comprimento de porta de 2um: resultados finais
- Desenvolvimento de um sistema rp / rtcvd
- Projeto de transistores mesfet / 'GA''AS' com estrutura auto-alinhada obtida por implantacao ionica
- Doping of silicon with boron by rapid thermal processing
- Influence of impurities on cobalt silicide formation
- Caracterização de filmes finos empregando a técnica de difração de raio-x
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