Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto (1990)
- Authors:
- USP affiliated author: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP
- School: EP
- Subject: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Spie
- Place of publication: Campinas
- Date published: 1990
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference title: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
FREITAS, W J; SWART, Jacobus Willibrordus. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais.. Campinas: Sbmicro/Spie, 1990. -
APA
Freitas, W. J., & Swart, J. W. (1990). Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. In Anais. Campinas: Sbmicro/Spie. -
NLM
Freitas WJ, Swart JW. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais. 1990 ; -
Vancouver
Freitas WJ, Swart JW. Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto. Anais. 1990 ; - Influence of impurities on cobalt silicide formation
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