Etching of tungsten in a magnetically confined plasma reactor: general trends and etch rate limiting mechanisms (1993)
- Authors:
- Autor USP: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
VERNDONCK, P B e DE GEYTER, P e SWART, Jacobus Willibrordus. Etching of tungsten in a magnetically confined plasma reactor: general trends and etch rate limiting mechanisms. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 18 nov. 2024. -
APA
Verndonck, P. B., De Geyter, P., & Swart, J. W. (1993). Etching of tungsten in a magnetically confined plasma reactor: general trends and etch rate limiting mechanisms. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Verndonck PB, De Geyter P, Swart JW. Etching of tungsten in a magnetically confined plasma reactor: general trends and etch rate limiting mechanisms. Anais. 1993 ;[citado 2024 nov. 18 ] -
Vancouver
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