Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2 (1994)
- Authors:
- USP affiliated author: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- School: EP
- Subject: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Place of publication: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference title: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues e VERDONCK, Patrick Bernard. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 01 jul. 2022. -
APA
Mansano, R. D., & Verdonck, P. B. (1994). Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2022 jul. 01 ] -
Vancouver
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2022 jul. 01 ] - Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas
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