Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2 (1994)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues e VERDONCK, Patrick Bernard. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 30 dez. 2025. -
APA
Mansano, R. D., & Verdonck, P. B. (1994). Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2025 dez. 30 ] -
Vancouver
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2025 dez. 30 ] - Laser enhanced polymer etching in different ambients
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