Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido) (1991)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; OKA, MAURICIO MASSAZUMI - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufmg
- Publisher place: Belo Horizonte
- Date published: 1991
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
OKA, Mauricio Massazumi e SWART, Jacobus Willibrordus. Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido). 1991, Anais.. Belo Horizonte: Sbmicro/Ufmg, 1991. . Acesso em: 17 mar. 2026. -
APA
Oka, M. M., & Swart, J. W. (1991). Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido). In Anais. Belo Horizonte: Sbmicro/Ufmg. -
NLM
Oka MM, Swart JW. Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido). Anais. 1991 ;[citado 2026 mar. 17 ] -
Vancouver
Oka MM, Swart JW. Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido). Anais. 1991 ;[citado 2026 mar. 17 ] - Experimental study of lateral growth of titanium silicide
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