Estudo do crescimento lateral de silicetos e formação do siliceto de cobalto sobre silício altamente dopado (1991)
- Authors:
- Autor USP: OKA, MAURICIO MASSAZUMI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho foram abordados dois aspectos dos silicetos: o crescimento lateral e a formação do siliceto sobre substrato altamente dopado. O estudo do crescimento lateral do siliceto de 'TI' indica a necessidade da formação em duas etapas, intermediadas por uma remoção seletiva do 'TI' não reagido, sendo a temperatura da primeira etapa de, no máximo, 600'GRAUS'c, para evitar o crescimento lateral. Com o siliceto de 'CO' observamos um crescimento lateral comparável ao do siliceto de 'TI', ao contrário do esperado. Sugerimos a sua formação em duas etapas, de forma similar ao caso do siliceto de 'TI'. Observamos que os dopantes presentes no substrato de 'SI' afetam a cinética de formação de siliceto. O 'AS' parece atrasar a formação do siliceto enquanto que o BF2 parece adiantá-la. A análise RBS mostra ainda que usando uma única etapa de sinterização, de 600'GRAUS'c/60s ou de 700'GRAUS'/30s, fomos bem sucedidos em obter uma junção rasa, com concentração de pico de 'AS' superior a '1.10 POT.19' at/'CENTIMETROS CUBICOS' sob o siliceto.
- Imprenta:
- Data da defesa: 07.11.1991
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ABNT
OKA, Mauricio Massazumi. Estudo do crescimento lateral de silicetos e formação do siliceto de cobalto sobre silício altamente dopado. 1991. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1991. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-084819/pt-br.php. Acesso em: 26 jan. 2026. -
APA
Oka, M. M. (1991). Estudo do crescimento lateral de silicetos e formação do siliceto de cobalto sobre silício altamente dopado (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-084819/pt-br.php -
NLM
Oka MM. Estudo do crescimento lateral de silicetos e formação do siliceto de cobalto sobre silício altamente dopado [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 26 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-084819/pt-br.php -
Vancouver
Oka MM. Estudo do crescimento lateral de silicetos e formação do siliceto de cobalto sobre silício altamente dopado [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 26 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-084819/pt-br.php - Effect of stencil alignment on the solder beading in SMT process
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