Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x

Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x (1988)

Authors:
USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; MORIMOTO, NILTON ITIRO - EP
Unidade: EP
Subjects: MICROELETRÔNICA; DIFRAÇÃO POR RAIOS X
Language: Português
Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Epusp
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1988
Source:
- Título: Anais
Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica

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ABNT

MORIMOTO, Nilton Itiro e SWART, Jacobus Willibrordus e RIELLA, Humberto Gracher. Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x. 1988, Anais.. São Paulo: Sbmicro/Epusp, 1988. . Acesso em: 13 fev. 2026.
APA

Morimoto, N. I., Swart, J. W., & Riella, H. G. (1988). Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x. In Anais. São Paulo: Sbmicro/Epusp.
NLM

Morimoto NI, Swart JW, Riella HG. Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x. Anais. 1988 ;[citado 2026 fev. 13 ]
Vancouver

Morimoto NI, Swart JW, Riella HG. Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x. Anais. 1988 ;[citado 2026 fev. 13 ]