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Artigo de periodico
A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization (1999)
Castro, Raul Murete de; Cirino, Giuseppe Antonio; Verdonck, Patrick Bernard; Maciel, Homero Santiago; Massi, Marcos; Pisani, M B; Mansano, Ronaldo Domingues
Source: Contributions to plasma physics. Unidade: EP
Assunto: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
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ABNT
CASTRO, Raul Murete de et al. A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization. Contributions to plasma physics, v. 39, n. 3, p. 235-246, 1999Tradução . . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Castro, R. M. de, Cirino, G. A., Verdonck, P. B., Maciel, H. S., Massi, M., Pisani, M. B., & Mansano, R. D. (1999). A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization. Contributions to plasma physics, 39( 3), 235-246.
NLM
Castro RM de, Cirino GA, Verdonck PB, Maciel HS, Massi M, Pisani MB, Mansano RD. A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization. Contributions to plasma physics. 1999 ;39( 3): 235-246.[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Castro RM de, Cirino GA, Verdonck PB, Maciel HS, Massi M, Pisani MB, Mansano RD. A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization. Contributions to plasma physics. 1999 ;39( 3): 235-246.[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica (1999)
Verdonck, Patrick Bernard; Mansano, Ronaldo Domingues
Source: Anais. Conference titles: Escola Brasileira de Microeletrônica. Unidade: EP
Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, ENGENHARIA MECÂNICA
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ABNT
VERDONCK, Patrick Bernard e MANSANO, Ronaldo Domingues. Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica. 1999, Anais.. Campinas: LNLS/SBMicro, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Verdonck, P. B., & Mansano, R. D. (1999). Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica. In Anais. Campinas: LNLS/SBMicro.
NLM
Verdonck PB, Mansano RD. Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica. Anais. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Verdonck PB, Mansano RD. Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica. Anais. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching (1999)
Mansano, Ronaldo Domingues ; Nogueira, Paula Maria; Zambom, Luís da Silva ; Verdonck, Patrick Bernard; Massi, Marcos; Maciel, Homero Santiago
Source: ICMP 99: technical digest. Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging. Unidade: EP
Assunto: FILMES
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ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues et al. The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching. 1999, Anais.. São Paulo: SBMicro/IMAPS, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Mansano, R. D., Nogueira, P. M., Zambom, L. da S., Verdonck, P. B., Massi, M., & Maciel, H. S. (1999). The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching. In ICMP 99: technical digest. São Paulo: SBMicro/IMAPS.
NLM
Mansano RD, Nogueira PM, Zambom L da S, Verdonck PB, Massi M, Maciel HS. The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching. ICMP 99: technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Mansano RD, Nogueira PM, Zambom L da S, Verdonck PB, Massi M, Maciel HS. The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching. ICMP 99: technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
Multiple line generation over high angle using hybrid parabolic profile and binary surface-relief phase element (1999)
Gonçalves Neto, Luiz; Roberto, Luciana Brassolatti; Verdonck, Patrick Bernard; Mansano, Ronaldo Domingues ; Cirino, Giuseppe Antonio; Stefani, Mario Antonio
Source: Technical digest. Conference titles: Congress of the International Commission for Optics: Optics for the Next Millennium. Unidade: EESC
Subjects: TELECOMUNICAÇÕES, MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
GONÇALVES NETO, Luiz et al. Multiple line generation over high angle using hybrid parabolic profile and binary surface-relief phase element. 1999, Anais.. Bellingham: IEEE/SPIE, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Gonçalves Neto, L., Roberto, L. B., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., Cirino, G. A., & Stefani, M. A. (1999). Multiple line generation over high angle using hybrid parabolic profile and binary surface-relief phase element. In Technical digest. Bellingham: IEEE/SPIE.
NLM
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Multiple line generation over high angle using hybrid parabolic profile and binary surface-relief phase element. Technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Multiple line generation over high angle using hybrid parabolic profile and binary surface-relief phase element. Technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
Fabrication of hybrid diffractive and refractive optical element for multiple line generation over high angle (1999)
Gonçalves Neto, Luiz; Roberto, Luciana Brassolatti; Verdonck, Patrick Bernard; Mansano, Ronaldo Domingues ; Cirino, Giuseppe Antonio; Stefani, Mario Antonio
Source: Proceedings. Conference titles: International Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry. Unidade: EESC
Subjects: ÓPTICA, MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
GONÇALVES NETO, Luiz et al. Fabrication of hybrid diffractive and refractive optical element for multiple line generation over high angle. 1999, Anais.. Florianópolis: IMEKO/METRO/SPIE, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Gonçalves Neto, L., Roberto, L. B., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., Cirino, G. A., & Stefani, M. A. (1999). Fabrication of hybrid diffractive and refractive optical element for multiple line generation over high angle. In Proceedings. Florianópolis: IMEKO/METRO/SPIE.
NLM
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Fabrication of hybrid diffractive and refractive optical element for multiple line generation over high angle. Proceedings. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Fabrication of hybrid diffractive and refractive optical element for multiple line generation over high angle. Proceedings. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Relatorio tecnico
Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering (1999)
Massi, Marcos; Mansano, Ronaldo Domingues ; Maciel, Homero Santiago; Otani, C.; Verdonck, Patrick Bernard; Nishioka, L. N. B. M.
Unidade: EP
Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
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ABNT
MASSI, Marcos et al. Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering. . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 05 nov. 2024. , 1999
APA
Massi, M., Mansano, R. D., Maciel, H. S., Otani, C., Verdonck, P. B., & Nishioka, L. N. B. M. (1999). Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering. São Paulo: EPUSP.
NLM
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Influence of plasma etching on Raman spectra of DLC films deposited by magnetron sputtering. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
Multiple line generation over high angle using hybrid diffractive and refractive optical element (1999)
Gonçalves Neto, Luiz; Roberto, Luciana Brassolatti; Verdonck, Patrick Bernard; Mansano, Ronaldo Domingues ; Cirino, Giuseppe Antonio; Stefani, Mario Antonio
Source: Annals. Conference titles: Brazilian Commission for Optics. Unidade: EESC
Subjects: MATÉRIA CONDENSADA, ÓPTICA
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ABNT
GONÇALVES NETO, Luiz et al. Multiple line generation over high angle using hybrid diffractive and refractive optical element. 1999, Anais.. São Lourenço: Escola de Engenharia de São Carlos, Universidade de São Paulo, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Gonçalves Neto, L., Roberto, L. B., Verdonck, P. B., Mansano, R. D., Cirino, G. A., & Stefani, M. A. (1999). Multiple line generation over high angle using hybrid diffractive and refractive optical element. In Annals. São Lourenço: Escola de Engenharia de São Carlos, Universidade de São Paulo.
NLM
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Multiple line generation over high angle using hybrid diffractive and refractive optical element. Annals. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Gonçalves Neto L, Roberto LB, Verdonck PB, Mansano RD, Cirino GA, Stefani MA. Multiple line generation over high angle using hybrid diffractive and refractive optical element. Annals. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Trabalho de evento
Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films (1999)
Mansano, Ronaldo Domingues ; Nogueira, Paula Maria; Zambom, Luís da Silva ; Verdonck, Patrick Bernard; Massi, Marcos; Maciel, Homero Santiago
Source: ICMP 99: technical digest. Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging. Unidade: EP
Assunto: FILMES
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues et al. Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films. 1999, Anais.. São Paulo: SBMicro/IMAPS, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Mansano, R. D., Nogueira, P. M., Zambom, L. da S., Verdonck, P. B., Massi, M., & Maciel, H. S. (1999). Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films. In ICMP 99: technical digest. São Paulo: SBMicro/IMAPS.
NLM
Mansano RD, Nogueira PM, Zambom L da S, Verdonck PB, Massi M, Maciel HS. Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films. ICMP 99: technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Mansano RD, Nogueira PM, Zambom L da S, Verdonck PB, Massi M, Maciel HS. Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films. ICMP 99: technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Artigo de periodico
Effects of plasma etching on DLC films (1999)
Massi, Marcos; Mansano, Ronaldo Domingues ; Maciel, Homero Santiago; Otani, C.; Verdonck, Patrick Bernard; Nishioka, L. N. B. M.
Source: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: PLASMA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MASSI, Marcos et al. Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, n. 343-344, p. 381-384, 1999Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5. Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Massi, M., Mansano, R. D., Maciel, H. S., Otani, C., Verdonck, P. B., & Nishioka, L. N. B. M. (1999). Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, ( 343-344), 381-384. doi:10.1016/s0040-6090(98)01691-5
NLM
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5
Vancouver
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5
Trabalho de evento
Silicon nitride coupled plasma deposited from mixtures of silane - nitrogen and silane - ammonia (1999)
Zambom, Luís da Silva ; Furlan, Rogério ; Mansano, Ronaldo Domingues
Source: ICMP 99 : Technical Digest. Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging. Unidade: EP
Subjects: CIRCUITOS ELÉTRICOS, ELETROQUÍMICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva e FURLAN, Rogério e MANSANO, Ronaldo Domingues. Silicon nitride coupled plasma deposited from mixtures of silane - nitrogen and silane - ammonia. 1999, Anais.. São Paulo: SBMicro/IMAPS, 1999. . Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Zambom, L. da S., Furlan, R., & Mansano, R. D. (1999). Silicon nitride coupled plasma deposited from mixtures of silane - nitrogen and silane - ammonia. In ICMP 99 : Technical Digest. São Paulo: SBMicro/IMAPS.
NLM
Zambom L da S, Furlan R, Mansano RD. Silicon nitride coupled plasma deposited from mixtures of silane - nitrogen and silane - ammonia. ICMP 99 : Technical Digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Vancouver
Zambom L da S, Furlan R, Mansano RD. Silicon nitride coupled plasma deposited from mixtures of silane - nitrogen and silane - ammonia. ICMP 99 : Technical Digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ]
Artigo de periodico
LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas (1999)
Zambom, Luís da Silva ; Mansano, Ronaldo Domingues ; Furlan, Rogério ; Verdonck, Patrick Bernard
Source: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: FILMES FINOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva et al. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas. Thin Solid Films, v. 343-344, p. 299-301, 1999Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9. Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Zambom, L. da S., Mansano, R. D., Furlan, R., & Verdonck, P. B. (1999). LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas. Thin Solid Films, 343-344, 299-301. doi:10.1016/s0040-6090(98)01587-9
NLM
Zambom L da S, Mansano RD, Furlan R, Verdonck PB. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ; 343-344 299-301.[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9
Vancouver
Zambom L da S, Mansano RD, Furlan R, Verdonck PB. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ; 343-344 299-301.[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9
Trabalho de evento
Fabrication of an arry of divergent microlenses for multiple beam splitting (1999)
Cirino, Giuseppe Antonio; Mansano, Ronaldo Domingues ; Verdonck, Patrick Bernard; Gonçalves Neto, Luiz
Source: Technical digest. Conference titles: International Conference on Microeletronics and Packaging. Unidade: EESC
Subjects: ÓPTICA, MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio et al. Fabrication of an arry of divergent microlenses for multiple beam splitting. 1999, Anais.. Campinas: UNICAMP, 1999. Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ff2248d-5d96-4e8c-93ee-2ad585fa635f/PROD_001769_SYSNO_1067364.pdf. Acesso em: 05 nov. 2024.
APA
Cirino, G. A., Mansano, R. D., Verdonck, P. B., & Gonçalves Neto, L. (1999). Fabrication of an arry of divergent microlenses for multiple beam splitting. In Technical digest. Campinas: UNICAMP. Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ff2248d-5d96-4e8c-93ee-2ad585fa635f/PROD_001769_SYSNO_1067364.pdf
NLM
Cirino GA, Mansano RD, Verdonck PB, Gonçalves Neto L. Fabrication of an arry of divergent microlenses for multiple beam splitting [Internet]. Technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ff2248d-5d96-4e8c-93ee-2ad585fa635f/PROD_001769_SYSNO_1067364.pdf
Vancouver
Cirino GA, Mansano RD, Verdonck PB, Gonçalves Neto L. Fabrication of an arry of divergent microlenses for multiple beam splitting [Internet]. Technical digest. 1999 ;[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/2ff2248d-5d96-4e8c-93ee-2ad585fa635f/PROD_001769_SYSNO_1067364.pdf

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