Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS (2005)
Source: SIICUSP 2005 : resumos. Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo. Unidade: EP
Subjects: SILÍCIO, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
ABNT
OLIVEIRA JUNIOR, Jose Pinto de e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. 2005, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2005. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm. Acesso em: 05 out. 2024.APA
Oliveira Junior, J. P. de, & Paez Carreño, M. N. (2005). Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. In SIICUSP 2005 : resumos. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htmNLM
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 05 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htmVancouver
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 05 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm