Silício poroso e nano estruturas auto-organizadas (2005)
- Autor:
- Autor USP: SALCEDO, WALTER JAIMES - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: SILÍCIO; MATERIAIS NANOESTRUTURADOS
- Language: Português
- Abstract: Os resultados das minhas atividades de pesquisa são descritas com detalhamento no presente trabalho. O fruto dessas atividades, que foram desenvolvidas neste período, está sistematicamente organizado nos seguintes 6 capítulos. Capítulo I: Efeitos moleculares na superfície dos filmes de silício poroso. Capítulo II. Modulação das propriedades ópticas dos filmes de silício poroso por processos de oxidação térmica. Capítulo III: Modulação das propriedades ópticas dos filmes de silício poroso por implantação iônica de H+. Capítulo IV: Modulação das propriedades ópticas de filmes de PS por Tratamento com KCr'O IND.4' e 'K IND.2''Cr IND.2''O IND.4'. Capítulo V: Fabricação de sistemas auto-organizados de micro esferas de poliestireno para aplicação na fabricação de cristais fotônicos. Capítulo VI: conclusões finais. No capítulo I são apresentados resultados dos processos de reações químicas assistida por laser. Neste item foram discutidas as mudanças da estrutura superficial dos filmes de silício poroso (PS) correlacionadas com suas propriedades ópticas. Em virtude dos resultados obtidos foi proposto um mecanismo de reação química assistida por laser e um mecanismo para a emissão fotoluminescente(PL) de filmes de PS. Em outro item deste capítulo foi estudado o efeito da absorção de moléculas de gases na superfície de filmes de PS associadas à emissão PL. O comportamento da emissão PL foi seletivo com a característica de cada gás, resultado relevantepara a fabricação de sensores químicos de gás com uma seletividade efetiva. No capitulo II foi estudada a modulação de propriedades ópticas de filmes de PS através de processos de oxidação térmica. Os resultados foram discutidos com conclusões originais. Os filmes de PS oxidados mostraram uma anisotropia óptica relevante na aplicação de guias de ondas. ) No capítulo III foi estudada a modulação das propriedades ópticas de filmes de PS por implantação de íons de H+, com resultados originais. A implantação de íons de H+ provoca a formação de um filme de PS com duas camadas com diferentes propriedades ópticas. A camada superficial apresentou um fenômeno de intensificação Raman interessante que foi discutido dentro do marco de processos de ressonância. O comportamento da camada superficial está sendo aproveitada na fabricação de micro estruturas em substratos de silício. No capítulo IV foi estudada a modulação de propriedades ópticas de filmes de PS através do tratamento químico e eletroquímico em soluções de KCr'O IND.4' e 'K IND.2''Cr IND.2''O IND.4' e Cr(N'O IND.3')'IND.3'. Filmes de PS alternante transparentes foram obtidas quando utilizados adicionalmente surfactantes catiônicos. Efeitos de intensificação de emissão PL em até 10'POT.6' vezes foram obtidas, sugerindo que os filmes dopados com íons de Cr'POT.+3' comportam-se de forma semelhante aos cristais de Rubi no seu mecanismo de emissão PL, é dizer, os íons de Cr'POT.+3'como sendo os responsáveis pela imensa emissão. No capítulo V são discutidos processos químicos para a obtenção de sistemas auto-organizados utilizando-se micro-esferas de poliestireno. A partir dos sistemas auto-organizados foram fabricadas estruturas auto-organizadas de filmes finos de ouro e silício amorfo. Os filmes de ouro auto-organizados serão utilizados na fabricação de um sensor com capacidade de detecção de uma molécula. Já os filmes de silício amorfo serão utilizados na fabricação de um sensor com capacidade de detecção de uma molécula. Já os filmes de silício amorfo serão utilizados na fabricação de cristais fotônicos. No capítulo VI finalmente são apresentadas as conclusões finais do presente trabalho e as perspectivas futuras derivadas a partir dos resultados obtidos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 14.12.2005
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ABNT
SALCEDO, Walter Jaimes. Silício poroso e nano estruturas auto-organizadas. 2005. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29072024-071954/pt-br.php. Acesso em: 25 set. 2024. -
APA
Salcedo, W. J. (2005). Silício poroso e nano estruturas auto-organizadas (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29072024-071954/pt-br.php -
NLM
Salcedo WJ. Silício poroso e nano estruturas auto-organizadas [Internet]. 2005 ;[citado 2024 set. 25 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29072024-071954/pt-br.php -
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Salcedo WJ. Silício poroso e nano estruturas auto-organizadas [Internet]. 2005 ;[citado 2024 set. 25 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29072024-071954/pt-br.php - Advanced ESD protection solutions in CMOS/BiCMOS technologies
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