Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information (2005)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; PEREYRA, INÊS - EP ; FORHAN, NEISY AMPARO ESCOBAR - EP
- Unidades: IF; EP
- Subjects: CARBONO; ÍONS; SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 2005
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Carbono
-
ABNT
FORHAN, Neisy Amparo Escobar et al. Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. 2005, Anais.. Rio de Janeiro: Instituto de Física, Universidade de São Paulo, 2005. . Acesso em: 05 out. 2024. -
APA
Forhan, N. A. E., Zawislak, F. C., Fantini, M., & Pereyra, I. (2005). Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. In . Rio de Janeiro: Instituto de Física, Universidade de São Paulo. -
NLM
Forhan NAE, Zawislak FC, Fantini M, Pereyra I. Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. 2005 ;[citado 2024 out. 05 ] -
Vancouver
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