Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide (2008)
- Authors:
- Autor USP: CARREÑO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2008
- Source:
- Título: SBMICRO 2008: Anais
- ISSN: 1938-5862
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
-
ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. . Acesso em: 14 fev. 2026. -
APA
Rehder, G. P., & Paez Carreño, M. N. (2008). Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Rehder GP, Paez Carreño MN. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2026 fev. 14 ] -
Vancouver
Rehder GP, Paez Carreño MN. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2026 fev. 14 ] - Sistema oline de avaliação de disciplinas utilizando tecnologias ajax e banco de dados MYSQL
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