Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model (2008)
- Authors:
- Autor USP: CARREÑO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/1.2956015
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2008
- Source:
- Título: SBMICRO 2008: Anais
- ISSN: 1938-5862
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
-
ABNT
OLIVEIRA JUNIOR, Jose Pinto de e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.2956015. Acesso em: 05 mar. 2026. -
APA
Oliveira Junior, J. P. de, & Paez Carreño, M. N. (2008). Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. doi:10.1149/1.2956015 -
NLM
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2026 mar. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956015 -
Vancouver
Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2026 mar. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956015 - Sistema oline de avaliação de disciplinas utilizando tecnologias ajax e banco de dados MYSQL
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Informações sobre o DOI: 10.1149/1.2956015 (Fonte: oaDOI API)
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