Determinacao de boro e fosforo em filmes de 'SI''O IND.2' usando espectrometria de emissao atomica de plasma de argonio induzido (1992)
- Authors:
- USP affiliated authors: OLIVEIRA, ELISABETH DE - IQ ; SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; MORIMOTO, NILTON ITIRO - EP
- Unidades: IQ; EP
- Subjects: QUÍMICA ANALÍTICA; QUÍMICA ANALÍTICA INSTRUMENTAL; ESPECTROSCOPIA
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Associacao Brasileira de Quimica
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1992
- Source:
- Título: Resumos
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Quimica
-
ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da e OLIVEIRA, Elisabeth de e MORIMOTO, Nilton Itiro. Determinacao de boro e fosforo em filmes de 'SI''O IND.2' usando espectrometria de emissao atomica de plasma de argonio induzido. 1992, Anais.. São Paulo: Associacao Brasileira de Quimica, 1992. . Acesso em: 13 fev. 2026. -
APA
Silva, M. L. P. da, Oliveira, E. de, & Morimoto, N. I. (1992). Determinacao de boro e fosforo em filmes de 'SI''O IND.2' usando espectrometria de emissao atomica de plasma de argonio induzido. In Resumos. São Paulo: Associacao Brasileira de Quimica. -
NLM
Silva MLP da, Oliveira E de, Morimoto NI. Determinacao de boro e fosforo em filmes de 'SI''O IND.2' usando espectrometria de emissao atomica de plasma de argonio induzido. Resumos. 1992 ;[citado 2026 fev. 13 ] -
Vancouver
Silva MLP da, Oliveira E de, Morimoto NI. Determinacao de boro e fosforo em filmes de 'SI''O IND.2' usando espectrometria de emissao atomica de plasma de argonio induzido. Resumos. 1992 ;[citado 2026 fev. 13 ] - Analysis of TEOS+O2 plasma - the influence of energy and gas flow on the deposition process
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